[实用新型]一种改善硅锭侧向长晶的护板

摘要

本实用新型涉及一种改善硅锭侧向长晶的护板，属于多晶硅制备技术领域。该改善硅锭侧向长晶的护板，包括长方形的基础护板和长方形的保温板，保温板设置在基础护板的一侧表面的两端，基础护板下端均匀间隔开设有溢流口，基础护板上还开设有排气孔，基础护板内部设置有护板隔热层；保温板内部均布设置有真空隔热块，真空隔热块包括玻璃层和玻璃层内部的真空层。本实用新型的改善硅锭侧向长晶的护板通过基础护板和保温板的双层隔热，有效降低了拐角散热过快的问题，抑制了拐角区域横向长晶的问题，减少了位错由于拐角斜向长晶所造成的增殖效应，提升了多晶铸锭的硅锭晶体质量。

主权项

一种改善硅锭侧向长晶的护板，其特征在于：包括长方形的基础护板和长方形的保温板，所述保温板设置在所述基础护板的一侧表面的两端，所述基础护板下端均匀间隔开设有溢流口，所述基础护板上还开设有排气孔，所述基础护板内部设置有护板隔热层；所述保温板内部均布设置有真空隔热块，所述真空隔热块包括玻璃层和玻璃层内部的真空层。