[实用新型]一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统有效
| 申请号： | 201721311879.7 | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN207418855U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;黄庆梅 | 申请（专利权）人： | 肇庆兆达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/20 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 官国鹏 |
| 地址： | 526238 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统，包括真空室和均设置在真空室内的第一隔板、第一电极器、多个第一磁控靶、基材、用于控制基材运行的路径控制机构；路径控制机构包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、第一检测辊、第一导辊、第一水冷鼓、第二导辊、第二检测辊、收卷辊；多个第一磁控靶以第一水冷鼓的轴线为中心线沿着圆周方向布置，带磁性的第一电极器设置在相邻的两个第一磁控靶之间，第一水冷鼓的两侧均设置一块第一隔板。卷绕镀膜系统能有效改善金属薄层的沉积质量，大幅度提升金属薄层和基材的结合力，属于基材镀膜的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基材 镀膜系统 磁控靶 卷绕 水冷 隔板 柔性覆铜板 磁性电极 第一电极 金属薄层 路径控制 导辊 本实用新型 第二检测 基材镀膜 依次设置 运行路径 放卷辊 检测辊 结合力 收卷辊 真空室 沉积 室内 | ||
【主权项】：
1.一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统，其特征在于：包括真空室和均设置在真空室内的第一隔板、第一电极器、多个第一磁控靶、基材、用于控制基材运行的路径控制机构；路径控制机构包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、第一检测辊、第一导辊、第一水冷鼓、第二导辊、第二检测辊、收卷辊；多个第一磁控靶以第一水冷鼓的轴线为中心线沿着圆周方向布置，带磁性的第一电极器设置在相邻的两个第一磁控靶之间，第一水冷鼓的两侧均设置一块第一隔板；放卷辊、第一检测辊、第一导辊、第二导辊、第二检测辊、收卷辊均位于第一隔板的上方，第一电极器、第一磁控靶均位于第一隔板的下方。
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