[实用新型]一种双端进出的玻璃镀膜设备有效
| 申请号： | 201721312022.7 | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN207376112U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 官国鹏 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种双端进出的玻璃镀膜设备，包括依次连接且均设有滚筒传送机构的前进出片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、后进出片室；前进出片室的出入口处设有真空锁，前进出片室和前过渡室之间设有真空锁，前过渡室和前缓冲室之间设有真空锁，后缓冲室和后过渡室之间设有真空锁，后过渡室和后进出片室之间设有真空锁，后进出片室的出入口处设有真空锁；连通的前缓冲室、镀膜室、后缓冲室形成相通的真空室；镀膜室内设有多个定向旋转靶，定向旋转靶位于玻璃的上方，定向旋转靶内设有用于形成夹角磁场的磁铁。本实用新型可镀制较厚的膜层，属于玻璃镀膜的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 进出 玻璃 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种双端进出的玻璃镀膜设备，其特征在于：包括依次连接且均设有滚筒传送机构的前进出片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、后进出片室；前进出片室的出入口处设有真空锁，前进出片室和前过渡室之间设有真空锁，前过渡室和前缓冲室之间设有真空锁，后缓冲室和后过渡室之间设有真空锁，后过渡室和后进出片室之间设有真空锁，后进出片室的出入口处设有真空锁；连通的前缓冲室、镀膜室、后缓冲室形成相通的真空室；镀膜室内设有多个定向旋转靶，定向旋转靶位于玻璃的上方，定向旋转靶内设有用于形成夹角磁场的磁铁。
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