[实用新型]空间反射镜真空镀膜夹具有效

专利信息
申请号: 201721316676.7 申请日: 2017-10-13
公开(公告)号: CN207525328U 公开(公告)日: 2018-06-22
发明(设计)人: 袁海涛;邓容;孙胜利;王成彬;李耀鹏 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 李秀兰
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 专利公开了一种空间反射镜真空镀膜夹具,该夹具包括承载主体、承载方形梁、垂直吊杆、反射镜支撑装置。承载主体上端与电机装置连接,四个承载方形梁均匀分布于承载主体圆柱上,垂直吊杆配合孔与承载方形梁连接,反射镜支撑装置用螺钉连接到垂直吊杆上。反射镜由反射镜支撑装置的安装接口安装至夹具上。夹具与真空罐内电机装置相连接,由电机装置带动夹具转动进行镀膜工作。本专利的优点在于:结构稳定简单、强度高、易装配、总重量轻负载小、以及良好的互换性;夹具采用实体钢梁和钢杆结构可避免多余可挥发物的污染风险;本专利的反射镜支撑装置采用独立可拆卸方式实现反射镜的翻转,从而出色完成反射镜镜面和背面的镀膜任务。
搜索关键词: 夹具 反射镜 支撑装置 承载主体 垂直吊杆 电机装置 方形梁 空间反射镜 真空镀膜 承载 镀膜 反射镜镜面 可拆卸方式 安装接口 夹具转动 结构稳定 可挥发物 螺钉连接 翻转 钢梁 上端 互换性 配合孔 易装配 重量轻 钢杆 污染
【主权项】:
1.一种空间反射镜真空镀膜夹具,包括承载主体(1)、承载方形梁(2)、垂直吊杆(3)、反射镜支撑装置组件(4),其特征在于:所述承载主体(1)通过真空罐连接接口(101)与真空罐内电机装置连接完成在真空罐内固定;将承载方形梁(2)焊接到承载主体(1)上,四根承载方形梁(2)呈圆周均布状;将垂直吊杆(3)通过配合孔径安装至承载方形梁(2)上;反射镜支撑装置组件(4)装配到垂直吊杆(3)上,完成设备的装配;将反射镜由反射镜安装接口装配到该夹具上,完成反射镜在真空罐内的装配,由罐内电机带动整个夹具设备转动对反射镜进行真空镀膜。
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