[实用新型]一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置

摘要

本实用新型公开了一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置，其包括加工腔室、连接管、抽气腔室、进出气管、气塞、支架和控制模块，所述连接管的一端密封式安装在加工腔室的进出气口上另一端密封式安装在抽气腔室的进出气口上，所述进出气管安装在抽气腔室进出气口上，所述气塞安装在进出气管内部，所述支架安装在抽气腔室内部，所述控制模块由依次电性连接的气压传感器、信号处理单元、控制电路和扩散泵组成。本实用新型利用气塞的自重力来密封加工腔室，并且可实时的监控加工腔室的真空度，在真空度不高的情况下自动进行抽气，保证了加工腔室的真空度。

主权项

一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置，其特征在于，包括：加工腔室(1)、连接管(2)、抽气腔室(3)、进出气管(4)、气塞(5)、支架(6)和控制模块(7)，所述加工腔室(1)和抽气腔室(3)各有两个进出气口，所述连接管(2)的一端密封式安装在加工腔室(1)其一进出气口上、另一端密封式安装在抽气腔室(3)其一进出气口上，所述进出气管(4)安装在抽气腔室(3)进出气口上，所述气塞(5)安装在进出气管(4)内部，所述支架(6)固定在抽气腔室(3)内部。