[实用新型]用于电池片甩干时的臭氧氧化装置有效
申请号: | 201721344098.8 | 申请日: | 2017-10-19 |
公开(公告)号: | CN207265069U | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 赵卫东;赵枫;赵雅;郭盼盼;杨冬琴;李永仓 | 申请(专利权)人: | 江苏东鋆光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/18 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司11429 | 代理人: | 赵海波 |
地址: | 214421 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种用于电池片甩干时的臭氧氧化装置,它包括臭氧发生器、空气压缩机和制氮机,在现有的电池片甩干机上开设有臭氧进气口、压缩空气进气口、氮气进气口、排气口和排水口,所述臭氧发生器的出气口与甩干机上的臭氧进气口相连,所述空气压缩机的出气口与甩干机上的压缩空气进气口相连,所述制氮机的出气口与氮气进气口相连。本实用新型在现有的甩干机内通入臭氧使得硅表面氧化形成氧化硅薄膜,达到有效的抗PID效果,不仅实现了产品质量的提升,同时有效的利用了产线设备,实现设备工艺的技术升级,相比较离线式设备的应用,减少了工序作业过程,降低成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 电池 片甩干时 臭氧 氧化 装置 | ||
【主权项】:
一种用于电池片甩干时的臭氧氧化装置,其特征在于:它包括臭氧发生器(1)、空气压缩机(2)和制氮机(3),在现有的电池片甩干机(4)上开设有臭氧进气口、压缩空气进气口、氮气进气口、排气口(4.1)和排水口(4.2),所述臭氧发生器(1)的出气口与甩干机(4)上的臭氧进气口相连,所述空气压缩机(2)的出气口与甩干机(4)上的压缩空气进气口相连,所述制氮机(3)的出气口与氮气进气口相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的