[实用新型]太阳能刻蚀机台改造结构有效
申请号: | 201721347852.3 | 申请日: | 2017-10-18 |
公开(公告)号: | CN207731940U | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 徐建;俞超;李慧;吴俊清;樊华;张子森 | 申请(专利权)人: | 东方环晟光伏(江苏)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/306 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 刘畅;徐冬涛 |
地址: | 214203 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能刻蚀机台改造结构,它包括刻蚀机台,刻蚀机台尾部连接下料处履带,下料处履带旁设置有料盒和机械手,其特征在于在下料处履带旁还设置有异常片暂存盒,在下料处履带正上方设有摄像头,摄像头通过单片机连接机械手。本实用新型增加摄像头来检测硅片的长度,当硅片发生叠片时长度增长,摄像头检测出异常后,机械手在叠片产生后的硅片不进行抓取,会让其流到异常片暂存盒,让操作员工进行返工处理,降低了不良片的产生。 | ||
搜索关键词: | 刻蚀机台 履带 摄像头 机械手 硅片 本实用新型 下料处 暂存盒 太阳能 抓取 单片机连接 摄像头检测 叠片 返工 料盒 改造 检测 员工 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能刻蚀机台改造结构,它包括刻蚀机台(1),刻蚀机台(1)尾部连接下料处履带(2),下料处履带(2)旁设置有料盒(3)和机械手(7),其特征在于在下料处履带(2)旁还设置有异常片暂存盒(4),在下料处履带(2)正上方设有摄像头(5),摄像头(5)通过单片机(6)连接机械手(7)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的