[实用新型]一种CVD承重盘

摘要

本实用新型公开了一种CVD承重盘，包括进气段、气体处理段和出气段，所述进气段内设置有多个漏斗状进气通道；所述气体处理段包括气体储存腔室、气体干燥腔室、气压调节腔室、用于连通气体储存腔室与气体干燥腔室的第一通道和用于连通气体干燥腔室与气压调节腔室的第二通道；所述出气段包括一个漏斗状出气通道，所述漏斗状出气通道的出气端设置有整流网。本实用新型的CVD承重盘，采用多段结构，使得从CVD承重盘流入到反应腔内的气体均匀分布，且不易受到外界影响，从而实现反应腔内各部位气体的均匀性，最终使得CVD产品表面质量得到明显提高。

主权项

1.一种CVD承重盘，其特征在于，包括进气段(1)、气体处理段(2)和出气段(3)，所述气体处理段(2)的两端分别与进气段(1)和出气段(3)连接，所述进气段(1)内设置有多个漏斗状进气通道(11)，每个所述漏斗状进气通道(11)的进气端的截面面积大于漏斗状进气通道(11)的出气端的截面面积，每个所述漏斗状进气通道(11)的出气端均设置有第一气体电磁阀；所述气体处理段(2)包括气体储存腔室(21)、气体干燥腔室(22)、气压调节腔室(23)、用于连通气体储存腔室(21)与气体干燥腔室(22)的第一通道(24)和用于连通气体干燥腔室(22)与气压调节腔室(23)的第二通道(25)，所述气体储存腔室(21)与每个漏斗状进气通道(11)的出气端连通，所述第一通道(24)内设置有第二气体电磁阀，所述第二通道(25)内设置有第三气体电磁阀；所述出气段(3)包括一个漏斗状出气通道(31)，所述漏斗状出气通道(31)的出气端的截面面积大于漏斗状出气通道(31)的进气端的截面面积，所述漏斗状出气通道(31)的进气端和气压调节腔室(23)连通，所述漏斗状出气通道(31)的出气端设置有整流网(32)。