[实用新型]一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备有效
申请号: | 201721351311.8 | 申请日: | 2017-10-19 |
公开(公告)号: | CN207233712U | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 钟清海 | 申请(专利权)人: | 四川英发太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人: | 廖慧敏 |
地址: | 610000 四川省成都市中国(四川)自*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,包括用于放置石英舟的上料篮,上料篮的两侧均设有挡板,挡板上设有定位柱,且定位柱延伸到挡板外,定位柱的下侧连接设有支撑板,支撑板的内侧与挡板固定连接,支撑板的两侧分别设有一个横截面为长方形的延伸脚,每个延伸脚上均设有一个接近开关,接近开关用于检测石英舟与定位柱之间的距离。本技术方案在上料篮的挡板上设置支撑板,支撑板的内侧与挡板连接,且支撑板的上端与定位柱连接,定位柱与上料篮之间的石英舟保持一定距离,在支撑板上设置接近开关,为了确保石英舟放置过程中紧密重叠排布,避免由于与上料篮的侧边存在空腔,在移动过程中避免对石英舟造成损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 装置 扩散 自动 插片机上料 设备 | ||
【主权项】:
一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,其特征在于:包括用于放置石英舟(7)的上料篮(6),上料篮(6)的两侧均设有挡板(2),挡板(2)上设有定位柱(1),且定位柱(1)延伸到挡板(2)外,定位柱(1)的下侧连接设有支撑板,支撑板的内侧与挡板(2)固定连接,支撑板的两侧分别设有一个横截面为长方形的延伸脚(3),每个延伸脚(3)上均设有一个接近开关(4),接近开关(4)用于检测石英舟(7)与定位柱(1)之间的距离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造