[实用新型]一种具有保护挡板的化学沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种具有保护挡板的化学沉积装置，每个所述反应腔均包括圆柱形腔室和位于圆柱形腔室正上方的圆台形腔室，所述圆柱形腔室和圆台形腔室连通，所述圆柱形腔室内设置有用于夹持样品的夹持组件和用于回收沉积物颗粒的漏斗状挡板，所述漏斗状挡板位于夹持组件的上方，所述漏斗状挡板通过固定件与圆柱形腔室的内壁固定连接，所述漏斗状挡板的外壁上设置有为反应后的气体导流的导流槽。本实用新型的具有保护挡板的化学沉积装置，未反应完全的气体在漏斗状挡板的内壁上沉积形成颗粒，并且回收在漏斗状挡板内，有效的避免了颗粒散落而粘附在样件上，保证了在样件上进行化学沉积的质量。

主权项

1.一种具有保护挡板的化学沉积装置，其特征在于，包括圆柱形的反应炉，所述反应炉由内而外包括圆柱形加热体(2)、四个反应腔(1)、圆环形加热体(3)和外壳(4)，每个所述反应腔(1)均包括圆柱形腔室(11)和位于圆柱形腔室(11)正上方的圆台形腔室(12)，所述圆柱形腔室(11)和圆台形腔室(12)连通，所述圆柱形腔室(11)内设置有用于夹持样品的夹持组件(7)和用于回收沉积物颗粒的漏斗状挡板(5)，所述漏斗状挡板(5)位于夹持组件(7)的上方，所述漏斗状挡板(5)通过固定件(6)与圆柱形腔室(11)的内壁固定连接，所述漏斗状挡板(5)的外壁上设置有为反应后的气体导流的导流槽(58)，所述漏斗状挡板(5)内还设置有排出沉积物颗粒的出口。