[实用新型]一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置

摘要

本实用新型公开了一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，包括单晶炉、除尘过滤器、真空泵、压力变送器、放空管路和回收管路；所述放空管路上安装有放空管路手动阀和放空管路自动阀，回收管路上安装有两个回收管路手动阀和一个回收管路自动阀；所述单晶炉的另一端通过管路b分别连接至放空管路自动阀和回收管路自动阀，所述管路b上安装有状态指示器。本实用新型设计合理，结构紧凑，不需要对单晶炉或真空泵做任何改造，用简单和低成本的方法就可在新建厂施工，或者在老厂进行改造，极大地提高尾气氩气的纯度，提高后续氩气回收装置的回收效率，并降低能耗。

主权项

一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，其特征在于，包括单晶炉(1)、除尘过滤器(2)、真空泵(3)、压力变送器(4)、放空管路(10)和回收管路(11)；所述单晶炉(1)一端连接至除尘过滤器(2)，除尘过滤器(2)的另一端连接至真空泵(3)，真空泵(3)的另一端通过管路a分别连接至放空管路(10)和回收管路(11)，且管路a上安装有压力变送器(4)；所述放空管路(10)上安装有放空管路手动阀(5)和放空管路自动阀(6)，回收管路(11)上安装有两个回收管路手动阀(7)和一个回收管路自动阀(8)；所述单晶炉(1)的另一端通过管路b分别连接至放空管路自动阀(6)和回收管路自动阀(8)，所述管路b上安装有状态指示器(9)。