[实用新型]全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置有效
| 申请号： | 201721364347.X | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN207533613U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 王强 | 申请（专利权）人： | 王强 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京恩赫律师事务所 11469 | 代理人： | 赵文成 |
| 地址： | 101101 北京市通州*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，属于半导体制造、太阳能电池制造及液晶制造领域。该装置包括气动机构、齿轮传动机构和连杆传动机构，所述齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖的第一转轴，与第一自动槽盖相对应的第二自动槽盖的第二转轴通过所述连杆传动机构与齿轮传动机构连接，所述齿轮传动机构通过气动机构驱动带动第一转轴和连杆传动机构使第一自动槽盖和第二自动槽盖同时开启和关闭。本实用新型能够提高全自动设备使用的安全性和运行的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 自动槽盖 齿轮传动机构 连杆传动机构 转轴 开启关闭装置 本实用新型 气动机构 联动 半导体制造 全自动设备 太阳能电池 液晶制造 驱动 制造 | ||
【主权项】：
1.一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，其特征在于，包括气动机构、齿轮传动机构和连杆传动机构，所述齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖的第一转轴，与第一自动槽盖相对应的第二自动槽盖的第二转轴通过所述连杆传动机构与齿轮传动机构连接，所述齿轮传动机构通过气动机构驱动带动第一转轴和连杆传动机构使第一自动槽盖和第二自动槽盖同时开启和关闭。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于王强，未经王强许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721364347.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种医疗器械的清洗干燥装置
- 下一篇：硅片清洗花篮
