[实用新型]真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201721367724.5 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN207405231U | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 张文 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;姜溯洲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空镀膜设备，包括：顶盖，朝向工作腔内部的一侧设置有加热丝；第一温度传感器，设置在工作腔的顶部；第二温度传感器，设置在顶盖的上方；第三温度传感器，设置在工作腔的底板的下方；顶盖上设置有第一透明观察窗，第一透明观察窗位于第二温度传感器的正下方；工作腔的底部设置有第二透明观察窗，第二透明观察窗位于第三温度传感器的正上方。本实用新型提供的真空镀膜设备通过在顶盖上方设置第二温度传感器，在工作腔的下方设置第三温度传感器，并利用透明观察窗的设置分别对基板上方和下方进行红外测温，保证了基板稳定在工艺要求温度，实现了优良的工艺结果。 | ||
| 搜索关键词： | 透明观察窗 工作腔 顶盖 第二温度传感器 真空镀膜设备 温度传感器 本实用新型 第一温度传感器 底板 工艺结果 工艺要求 红外测温 对基板 加热丝 基板 保证 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备，包括用于镀膜的工作腔，所述工作腔的顶部设置有开口，所述工作腔的内部用于容置基板，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括：顶盖，封堵所述开口；所述顶盖朝向所述工作腔内部的一侧设置有加热丝；第一温度传感器，设置在所述工作腔的顶部；第二温度传感器，设置在所述顶盖的上方；第三温度传感器，设置在所述工作腔的底板的下方；所述顶盖上设置有第一透明观察窗，所述第一透明观察窗位于所述第二温度传感器的正下方；所述工作腔的底部设置有第二透明观察窗，所述第二透明观察窗位于所述第三温度传感器的正上方。
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