[实用新型]一种用于晶片加工的超精密双面抛光机

摘要

本实用新型公开了一种用于晶片加工的超精密双面抛光机，所述的气缸安装在横梁的顶面上，连接盘通过球头轴承安装在气缸的活塞杆上，上抛光盘安装在连接盘上，第一从动齿轮与第一主动齿轮啮合，第二主动齿轮安装在第二变频电动机的输出轴上，第二从动齿轮与第二主动齿轮啮合，中心轮安装在内轴上，第三从动齿轮与第三主动齿轮啮合，第四主动齿轮安装在第四变频电动机的输出轴上，第四从动齿轮与第四主动齿轮啮合，外轴两端分别安装在上静压支撑和下静压支撑上，工作台安装在床身的顶面上，下抛光盘安装在中轴的顶面上。本实用新型结构具有高的运动精度和稳定性，能精密控制加载过程且有可控的工件运动轨迹。

主权项

1.一种用于晶片加工的超精密双面抛光机，其特征在于：包括气缸(1)、球头轴承(2)、连接盘(3)、横梁(4)、立柱(5)、上抛光盘(6)、行星轮(7)、内齿圈(8)、外轴(9)、上静压支撑(10)、液压缸(11)、第一变频电动机(12)、第二变频电动机(13)、右电机安装座(14)、第二主动齿轮(15)、第一主动齿轮(16)、第三从动齿轮(17)、第二从动齿轮(18)、第一从动齿轮(19)、可调支撑(20)、左电机安装座(21)、第三主动齿轮(22)、内轴(23)、第三变频电动机(24)、中轴(25)、下静压支撑(26)、床身(27)、第四变频电动机(28)、第四从动齿轮(29)、工作台(30)、第四主动齿轮(31)、下抛光盘(32)、工件(33)、中心轮(34)和长轴(35)，所述的气缸(1)安装在横梁(4)的顶面上，所述的横梁(4)固定安装在立柱(5)上，所述的立柱(5)固定安装在床身(27)的顶面上，所述的连接盘(3)通过球头轴承(2)安装在气缸(1)的活塞杆上，所述的上抛光盘(6)安装在连接盘(3)上，所述的第一变频电动机(12)和第二变频电动机(13)都固定安装在右电机安装座(14)上，所述的右电机安装座(14)安装在床身(27)内且右电机安装座(14)靠近床身(27)的右侧面，所述的第一主动齿轮(16)安装在第一变频电动机(12)的输出轴上，所述的第一从动齿轮(19)与第一主动齿轮(16)啮合且第一从动齿轮(19)安装在内轴(23)上，所述的第二主动齿轮(15)安装在第二变频电动机(13)的输出轴上，所述的第二从动齿轮(18)与第二主动齿轮(15)啮合且第二从动齿轮(18)安装在长轴(35)上，所述的长轴(35)通过轴承安装在床身(27)内，所述的中心轮(34)安装在内轴(23)上，所述的第三变频电动机(24)和第四变频电动机(28)都固定安装在左电机安装座(21)上，所述的左电机安装座(21)安装在床身(27)内且左电机安装座(21)靠近床身(27)的左侧面，所述的第三主动齿轮(22)安装在第三变频电动机(24)的输出轴上，所述的第三从动齿轮(17)与第三主动齿轮(22)啮合且第三从动齿轮(17)安装在外轴(9)上，所述的第四主动齿轮(31)安装在第四变频电动机(28)的输出轴上，所述的第四从动齿轮(29)与第四主动齿轮(31)啮合且第四从动齿轮(29)安装在外轴(9)上，所述的外轴(9)两端分别安装在上静压支撑(10)和下静压支撑(26)上，所述的上静压支撑(10)和下静压支撑(26)都安装在床身(27)内，所述的内齿圈(8)安装在外轴(9)上，所述的工作台(30)安装在床身(27)的顶面上，所述的下抛光盘(32)安装在中轴(25)的顶面上，所述的行星轮(7)安装在下抛光盘(32)的顶面上，所述的工件(33)安装在下抛光盘(32)的顶面上且工件(33)位于内齿圈(8)和行星轮(7)之间，所述的液压缸(11)安装在床身(27)内，所述的上静压支撑(10)和下静压支撑(26)都通过管路与液压缸(11)连接。