[实用新型]一种常压炉有效
| 申请号： | 201721378879.9 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN207303056U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 陈瑞 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种常压炉，属于半导体技术领域，所述常压炉包括常压炉主体；基座，所述基座设置在所述常压炉主体内部；石英舟，所述石英舟可拆卸的连接在所述基座上；石英鳍，所述石英舟通过所述石英鳍连接在所述基座上；所述石英鳍采用销柱型石英鳍。本实用新型的有益效果采用销柱型石英鳍将石英舟固定在常压炉的基座上，石英舟的拆卸更加方便，且拆卸时石英鳍不易损坏碎裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 常压 | ||
【主权项】：
一种常压炉，所述常压炉包括：常压炉主体；基座，所述基座设置在所述常压炉主体内部；石英舟，所述石英舟可拆卸的连接在所述基座上；石英鳍，所述石英舟通过所述石英鳍连接在所述基座上；其特征在于，所述石英鳍采用销柱型石英鳍。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
