[实用新型]一种基于光子晶体的垂直结构LED芯片有效
申请号: | 201721381858.2 | 申请日: | 2017-10-24 |
公开(公告)号: | CN207338418U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 杨为家;吴质朴;何畏;陈强 | 申请(专利权)人: | 江门市奥伦德光电有限公司;五邑大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/26;H01L33/40;B82Y20/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 梁嘉琦 |
地址: | 529000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基于光子晶体的垂直结构LED芯片,包括由下至上依次排列的Si或者Cu衬底层、Al单晶金属薄膜层、p-GaN薄膜层、i-AlN薄膜层、n-ZnO层薄膜和单晶光子晶体薄膜层,采用p型GaN/n型ZnO异质结构,具有热稳定性高、化学稳定性好、技术成熟等优点,采用光子晶体取代ITO发展垂直结构的LED芯片,简化了芯片结构和芯片制程工序,有利于提高LED器件的出光效率,改善器件内部电流分布均匀性,光电性能优异,有利于制备低成本、大功率光电器件。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 光子 晶体 垂直 结构 led 芯片 | ||
【主权项】:
1.一种基于光子晶体的垂直结构LED芯片,其特征在于,包括由下至上依次排列的Si或者Cu衬底层(11)、Al单晶金属薄膜层(12)、p-GaN薄膜层(13)、i-AlN薄膜层(14)、n-ZnO层薄膜(15)和单晶光子晶体薄膜层(16)。
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