[实用新型]一种用于圆柱形晶片研磨的调径式游星轮

摘要

本实用新型涉及晶片研磨领域，具体涉及一种用于圆柱形晶片研磨的调径式游星轮，包括同心设置的基体齿盘和定位盘，所述基体齿盘外圈设置有齿，所述基体齿盘内部圆周均布有若干调径孔，所述定位盘包括活动轮和卡位环；所述调径孔包括，调径环和调径杆，所述调径环套设与所述调径孔内，所述调径环通过连杆与所述活动轮相连，所述调径杆包括，铰接固定端和滑动槽，其中铰接固定端铰接固定在所述基体齿盘上，所述调径环包括顶环和底环，所述顶环和底环之间通过立柱相连，所述立柱贯穿所述滑动槽，并且所述调径杆通过所述滑动槽在所述立柱的限位作用下滑动。本实用新型使得同一个游星轮可以用于不同直径的待加工物件进行夹持加工，提高了游星轮的通用性，从而便于工厂的生产加工。

主权项

一种用于圆柱形晶片研磨的调径式游星轮，其特征在于，包括：同心设置的基体齿盘（1）和定位盘（2），所述基体齿盘（1）外圈设置有齿，所述基体齿盘（1）内部圆周均布有若干调径孔（11），所述定位盘（2）包括活动轮（21）和卡位环（22）；所述调径孔（11）包括，调径环（111）和调径杆（112），所述调径环（111）套设与所述调径孔（11）内，所述调径环（111）通过连杆（13）与所述活动轮（21）相连，所述调径杆（112）包括，铰接固定端（1121）和滑动槽（1122），其中铰接固定端（1121）铰接固定在所述基体齿盘（1）上，所述调径环（111）包括顶环（1111）和底环（1112），所述顶环（1111）和底环（1112）之间通过立柱（1113）相连，所述立柱（1113）贯穿所述滑动槽（1122），并且所述调径杆（112）通过所述滑动槽（1122）在所述立柱（1113）的限位作用下滑动。