[实用新型]一种用于圆柱晶片的双面研磨机

摘要

本实用新型涉及晶片研磨领域，具体涉及一种用于圆柱晶片的双面研磨机，包括底座台、上压台和游星轮，所述底座台顶部设置有研磨腔，所述研磨腔外圈设置有内齿齿轮，所述研磨腔底部设置有底部研磨片，所述研磨腔中心设置有驱动齿轮，所述上压台包括，中心驱动盘、驱动电机和上研磨片，所述驱动电机与所述中心驱动盘相连，所述中心驱动盘与所述驱动齿轮相装配，平面方向上所述游星轮设置在所述驱动齿轮与所述内齿齿轮之间，高度方向上所述游星轮设置在所述上研磨片与所述底部研磨片之间。

主权项

一种用于圆柱晶片的双面研磨机，其特征在于，包括：底座台（1）、上压台（2）和游星轮（3），所述底座台（1）顶部设置有研磨腔（11），所述研磨腔（11）外圈设置有内齿齿轮（12），所述研磨腔（11）底部设置有底部研磨片（13），所述研磨腔（11）中心设置有驱动齿轮（14），所述上压台（2）包括，中心驱动盘（21）、驱动电机（22）和上研磨片（23），所述驱动电机（22）与所述中心驱动盘（21）相连，所述中心驱动盘（21）与所述驱动齿轮（14）相装配，平面方向上所述游星轮（3）设置在所述驱动齿轮（14）与所述内齿齿轮（12）之间，高度方向上所述游星轮（3）设置在所述上研磨片（23）与所述底部研磨片（13）之间；所述游星轮（3）包括，同心设置的基体齿盘（31）和定位盘（32），所述基体齿盘（31）外圈设置有齿，所述基体齿盘（31）内部圆周均布有若干调径孔（311），所述定位盘（32）包括活动轮（321）和卡位环（322）；所述调径孔（311）包括，调径环（3111）和调径杆（3112），所述调径环（3111）套设与所述调径孔（311）内，所述调径环（3111）通过连杆（313）与所述活动轮（321）相连，所述调径杆（3112）包括，铰接固定端（31121）和滑动槽（31122），其中铰接固定端（31121）铰接固定在所述基体齿盘（31）上，所述调径环（3111）包括顶环（31111）和底环（31112），所述顶环（31111）和底环（31112）之间通过立柱（31113）相连，所述立柱（31113）贯穿所述滑动槽（31122），并且所述调径杆（3112）通过所述滑动槽（31122）在所述立柱（31113）的限位作用下滑动。