[实用新型]真空传输设备、多工作机构系统及多真空传输设备系统有效
申请号: | 201721385127.5 | 申请日: | 2017-10-25 |
公开(公告)号: | CN207405232U | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 曹京星 | 申请(专利权)人: | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 周放;洪余节 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空传输设备、多工作机构系统以及多真空传输设备系统,其中前者包括外壳体、第一驱动件、第一磁流体设备、第一传输组件、第二传输组件和摩擦轮,其中,外壳体的内部设置有真空腔室;第一驱动件位于真空腔室的外部;第一磁流体设备包括第一磁流体轴,第一磁流体轴的一端位于真空腔室的外部,第一磁流体轴的另一端伸入真空腔室内;第一传输组件位于真空腔室的外部;第二传输组件位于真空腔室内。第一驱动件通过第一传输组件将动力传输至第一磁流体轴,第一磁流体轴通过第二传输组件将动力传输至摩擦轮,从而驱动摩擦轮转动工作。与现有技术相比,简化了真空传输设备的结构,降低了制造成本,提高了传输效率。 | ||
搜索关键词: | 磁流体 传输组件 真空传输设备 真空腔室 驱动件 动力传输 工作机构 摩擦轮 外壳体 真空腔 外部 室内 本实用新型 传输效率 内部设置 制造成本 轮转 伸入 摩擦 驱动 | ||
【主权项】:
1.一种真空传输设备,其特征在于,包括:外壳体,所述外壳体的内部设置有真空腔室;第一驱动件,位于所述真空腔室的外部;第一磁流体设备,包括第一磁流体轴,所述第一磁流体轴的一端位于所述真空腔室的外部,所述第一磁流体轴的另一端伸入所述真空腔室内,所述第一磁流体轴能绕自身中心轴进行旋转;第一传输组件,位于所述真空腔室的外部,所述第一传输组件的输入端与所述第一驱动件连接,所述第一传输组件的输出端与所述第一磁流体轴位于所述真空腔室的外部的一端连接;第二传输组件,位于所述真空腔室内,所述第二传输组件的输入端与所述第一磁流体轴伸入所述真空腔室内的一端连接;摩擦轮,位于所述真空腔室内,所述摩擦轮连接在所述第二传输组件的输出端。
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