[实用新型]一种带迷宫密封的线锯张力测量装置

摘要

本实用新型涉及单晶硅金刚线切片机的辅助设备，旨在提供一种带迷宫密封的线锯张力测量装置。该种带迷宫密封的线锯张力测量装置包括传感器安装座、传感器轴、传感器后盖、轴承安装座、轴承、轴承内压盖、轴承外压盖、张力传感器、张力测量导轮、传感器信号处理电路板，传感器信号处理电路与测量装置设计成一体。本实用新型在工作状态时，可有效防止传感器信号受到外部环境的干扰及信号的衰减，能获得更灵敏、准确的张力信号，更能有效防止切割液、硅粉、硅泥进入传感器内部的可能性，能有效确保张力导轮的灵活性。

主权项

1.一种带迷宫密封的线锯张力测量装置，其特征在于，包括传感器安装座、传感器轴、传感器后盖、轴承安装座、轴承、轴承内压盖、轴承外压盖、张力传感器、张力测量导轮、传感器信号处理电路板；所述传感器安装座的底部设有凸台，传感器后盖通过螺钉与传感器安装座配合密封，且在凸台和传感器后盖之间留有空隙；所述传感器信号处理电路板通过螺钉固定在传感器安装座的凸台上，使传感器信号处理电路板置于传感器安装座与传感器后盖之间；传感器安装座顶部设有一阶梯形台阶，并与轴承安装座装配形成迷宫间隙；所述轴承安装座内装有两个轴承，轴承内压盖通过螺钉将轴承内圈压紧，轴承外压盖与轴承安装座开有对应螺纹孔，轴承外压盖通过螺钉将轴承外圈压紧；所述传感器轴为阶梯轴，传感器轴的中间挖空并安装有张力传感器；传感器轴的底部径向开有凹槽并与传感器安装座配合，传感器轴的顶部穿过轴承安装座并嵌套在轴承的内圈中；所述张力测量导轮装在轴承安装座上，并利用螺钉固定；所述传感器后盖开有两个通孔，压缩空气接口和传感器接口分别穿过传感器后盖的对应通孔，并利用螺母固定；传感器接口用于张力传感器的信号输出；压缩空气能通过压缩空气接口进入传感器后盖，再从传感器后盖内部吹入传感器轴，再从传感器轴吹到迷宫密封，并由迷宫密封最后吹出。