[实用新型]一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统

摘要

本实用新型公开了一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，包括：废液存储装置、电解再生装置、以及一次尾气处理装置和二次尾气处理装置，一次尾气处理装置分别与蚀刻产线及电解再生装置连接，二次尾气处理装置的入口与该一次尾气处理装置连接，出口与蚀刻产线连接，且电解再生装置的出口与蚀刻产线连接。通过一次尾气处理装置和二次尾气处理装置，电解再生装置在电解过程中产生的尾气被充分吸收，在处理尾气的同时还能实现蚀刻液再生，该再生蚀刻液返回蚀刻产线继续工作，因此本实用新型可以将蚀刻工作中产生的废气和废液充分回收利用，实现资源循环。 1

主权项

1.一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，包括：尾气处理装置、电解再生装置、废液存储装置和蚀刻产线；

所述尾气处理装置包括一次尾气处理装置和二次尾气处理装置，所述一次尾气处理装置分别与所述蚀刻产线及所述电解再生装置连接，用于混合所述蚀刻产线产生的蚀刻废液与电解过程排放的尾气，提高所述蚀刻废液的氧化还原电位OPR；

所述二次尾气处理装置的入口与所述一次尾气处理装置连接，所述二次尾气处理装置的出口与所述蚀刻产线连接，以使满足蚀刻要求的再生蚀刻液返回蚀刻工序继续工作；

所述废液存储装置连接在所述一次尾气处理装置与所述电解再生装置之间，且所述电解再生装置与所述蚀刻产线连接。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，所述一次尾气处理装置包括水箱、离心泵和水射真空泵；

所述水箱的进水口与所述蚀刻产线连接，以使所述蚀刻产线产生的蚀刻废液排入所述水箱；

所述离心泵的入液口与所述水箱连接，所述离心泵的出液口与所述水射真空泵的入口连接，所述水射真空泵的出口与所述水箱连接；

所述水射真空泵上设置有侧支管作为进气口。

3.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，所述水箱内设置有溢流缸，所述溢流缸的溢流口与所述废液存储装置连接。

4.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，所述水箱外壁设置有取样盒，所述取样盒对所述水箱中的蚀刻溶液取样；

所述取样盒内安装OPR检测仪，所述OPR检测仪用于检测蚀刻溶液样品的OPR。

5.根据权利要求4所述的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，所述离心泵中设置有变频器，且所述变频器与所述OPR检测仪通过可编程逻辑器件PLC电路连接，以使所述离心泵的工作频率受控于所述OPR检测仪的检测信号。

6.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，所述二次尾气处理装置包括循环泵、射流器和冷凝器；

所述循环泵的入液口与所述水箱连接，所述循环泵的出液口与所述射流器的入口相连，所述射流器的出口与所述蚀刻产线连接；

所述冷凝器的入气口与所述水箱顶部连接，所述冷凝器的出口与所述射流器连接。

7.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，所述电解再生装置包括电解循环缸和电解槽；

所述电解循环缸包括阳极液循环缸和阴极液循环缸，所述电解槽包括阳极电解室和阴极电解室，且所述阳极电解室和所述阴极电解室由离子交换膜分隔；

所述阳极电解室与所述阳极液循环缸连通，所述阴极电解室与所述阴极液循环缸连通。

8.根据权利要求7所述的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，所述阴极液循环缸的入液口与所述废液存储装置连接，且所述阳极液循环缸的出液口与所述蚀刻产线连接。

9.根据根据权利要求7或8所述的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，所述电解再生装置还包括尾气管，所述尾气管一端连接于所述阳极电解室，另一端通过所述侧支管与所述一次尾气处理装置连接，以使所述阳极电解室产生的电解尾气排入所述一次尾气处理装置中吸收。