[实用新型]分选单元和检验系统有效
| 申请号： | 201721409560.8 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN207641886U | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·J·施托佩尔;阿萨夫·施勒岑杰 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/36 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开内容的实施方式提供分选单元和检验系统。在一个示例中，一种分选单元包括分选系统和多个料箱，基板分选到所述料箱中。分选单元包括料箱搬运装置，料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。在一个示例中，还提供了一种操作分选单元的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 料箱 分选单元 终端受动器 搬运装置 检验系统 分选系统 先前位置 分选 基板 安置 | ||
【主权项】：
1.一种分选单元，其特征在于包括：分选系统，所述分选系统包括可旋转支撑件和耦接到所述可旋转支撑件的多个基板夹持件；多个料箱，基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中；以及旋转料箱搬运装置，所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。
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