[实用新型]喷头组件和处理腔室有效
| 申请号： | 201721410228.3 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN207690758U | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | T·J·富兰克林;S·E·巴巴扬;P·A·克劳思 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;金红莲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了喷头组件和处理腔室。本文中描述的实施例总体涉及一种基板处理设备，并且更具体地涉及一种用于基板处理设备的改进喷头组件。喷头组件包括气体分配板和一个或多个温度检测组件。气体分配板包括具有顶表面和底表面的主体。一个或多个温度检测组件与气体分配板的顶表面对接，使得在气体分配板与一个或多个温度检测组件中的每一者之间形成热结合。每个温度检测组件包括突出特征和温度探测器。突出特征与气体分配板的顶表面对接，使得轴向负载沿着突出特征的轴线而放置在气体分配板上。温度探测器定位在突出特征的主体中。 | ||
| 搜索关键词： | 气体分配板 温度检测组件 喷头组件 突出特征 顶表面 基板处理设备 温度探测器 处理腔室 轴向负载 热结合 改进 | ||
【主权项】：
1.一种喷头组件，包括：气体分配板，所述气体分配板具有顶表面和底表面；以及一个或多个温度检测组件，所述一个或多个温度检测组件与所述气体分配板的所述顶表面接触，每个温度检测组件包括：突出特征，所述突出特征与所述气体分配板的所述顶表面接触；以及温度探测器，所述温度探测器定位在所述突出特征中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721410228.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于安装的陶瓷气体放电管电极
- 下一篇：一种百MeV汤姆逊质子谱仪
