[实用新型]硅片自动清洗脱胶一体机有效
| 申请号： | 201721410512.0 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN207655564U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈五奎;刘强;耿荣军;任超 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 614000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够实现硅片清洗和脱胶一次完成的硅片自动清洗脱胶一体机。该硅片自动清洗脱胶一体机，包括水洗清洗装置、脱胶装置、硅片水平输送装置；所述水洗清洗装置以及脱胶装置并排设置；水洗清洗装置以及脱胶装置均包括高压泵、至少两个支撑座，所述支撑座并排均匀分布；支撑座下方具有硅片运输区间；所述支撑座下方的硅片运输区间内设置有硅片水平输送装置以及硅片输送滑道；所述支撑座上设置有两端密闭的高压管道；所述高压管道与高压泵连通；所述高压管道上设置有喷头；所述脱胶装置还包括脱胶液加热装置；所述脱胶液加热装置与脱胶装置的高压泵连通。采用该硅片自动清洗脱胶一体机能够减少工序，提高工作效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 脱胶装置 支撑座 脱胶 自动清洗 一体机 水洗清洗装置 高压管道 高压泵 水平输送装置 加热装置 脱胶液 连通 喷头 本实用新型 并排设置 工作效率 硅片清洗 硅片输送 一次完成 滑道 密闭 运输 | ||
【主权项】：
1.硅片自动清洗脱胶一体机，其特征在于：包括水洗清洗装置(1)、脱胶装置(2)、硅片水平输送装置；所述水洗清洗装置(1)以及脱胶装置(2)并排设置；所述水洗清洗装置以及脱胶装置(2)均包括高压泵(9)、至少两个支撑座(3)，所述支撑座(3)并排均匀分布；所述支撑座(3)下方具有硅片运输区间；所述支撑座(3)下方的硅片运输区间内设置有硅片水平输送装置以及硅片输送滑道(8)；所述支撑座(3)上设置有两端密闭的高压管道(12)；所述高压管道(12)沿硅片水平输送装置输送硅片的方向延伸；且位于硅片水平输送装置的上方；所述高压管道(12)上设置有入水口，所述入水口与高压泵(9)连通；所述高压管道(12)上设置有沿高压管道(12)长度方向均匀分布的喷头(121)；所述喷头(121)位于硅片水平输送装置的正上方；所述脱胶装置(2)还包括脱胶液加热装置(13)；所述脱胶液加热装置(13)与脱胶装置(2)的高压泵(9)连通。
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