[实用新型]一种自动退镀设备有效
申请号: | 201721411936.9 | 申请日: | 2017-10-27 |
公开(公告)号: | CN207511730U | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 薛春天 | 申请(专利权)人: | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
主分类号: | B66C25/00 | 分类号: | B66C25/00;B08B3/12;B08B3/02;B08B3/08 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开一种自动退镀设备,用于自动退镀PVD夹具,该自动退镀设备包括多个退镀缸、中和缸组件、除油缸、漂洗缸、烤炉、驱动装置以及控制器。每个所述退镀缸内存储有退镀药剂,每个所述退镀缸内设有超声发生器、空气能加热器,用于增加所述退镀缸内的退镀药剂的温度;所述中和缸组件内存储有中和剂;所述除油缸内存储有除油药剂;所述多个退镀缸、所述中和缸组件、所述除油缸、所述漂洗缸及所述烤炉依次间隔设置,所述中和缸组件、所述除油缸及所述漂洗缸中的相邻两者之间均设有所述喷淋缸;驱动装置包括支撑台、横向移动装置、竖向移动装置以及吊臂,所述横向移动装置可横向移动地设于所述支撑台上。 | ||
搜索关键词: | 退镀 中和缸 除油 漂洗 横向移动装置 驱动装置 存储 烤炉 加热器 夹具 本实用新型 超声发生器 可横向移动 除油药剂 间隔设置 竖向移动 控制器 空气能 支撑台 中和剂 吊臂 喷淋 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种自动退镀设备,用于自动退镀PVD夹具,其特征在于,所述自动退镀设备包括依次横向布置的多个退镀缸、中和缸组件、除油缸、漂洗缸以及烤炉,所述中和缸组件、所述除油缸及所述漂洗缸中的相邻两者之间均设有喷淋缸;所述自动退镀设备还包括:驱动装置,包括支撑台、横向移动装置、竖向移动装置以及吊臂,所述横向移动装置可横向移动地设于所述支撑台上,所述竖向移动装置可竖向移动地设于所述横向移动装置,所述吊臂固定于所述竖向移动装置上,所述吊臂用于取放PVD夹具;以及,控制器,分别与所述横向移动装置、竖向移动装置电性连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市正和忠信股份有限公司,未经深圳市正和忠信股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201721411936.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。