[实用新型]多晶硅锭铸锭炉长晶均热坩埚结构有效
| 申请号： | 201721417056.2 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN207347695U | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王岩;房灵辉 | 申请（专利权）人： | 河南省博宇新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 | 代理人： | 余炎锋 |
| 地址： | 451200 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型属于多晶硅生产技术领域。一种多晶硅锭铸锭炉长晶均热坩埚结构，包括支撑台和坩埚，所述支撑台包括平行间隔设置在铸锭炉下炉体内的下保温板、支撑板、和连接支撑下保温板与支撑板的支撑柱；所述坩埚设置在支撑板上，所述坩埚的底部外侧开设有环形凹槽，所述坩埚的内腔底部设置有弧形槽，坩埚的内腔底部截面呈波浪线状，所述坩埚的外侧壁上均布设有环形安装槽，所述坩埚的外侧壁还设有保温条，根据不同的热场结构分布，在相应的环形安装槽内匹配插设保温条。本申请为整个热场进行重新归整，能够形成在线生产过程中的一个动态可变的热场分布，从而能够根据工艺需求进行热场分布的调整，从而大大提高了产品的晶粒大小和晶向的垂直度。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 炉长晶 均热 坩埚 结构 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅锭铸锭炉长晶均热坩埚结构，其特征在于，包括：支撑台，所述支撑台包括平行间隔设置在铸锭炉下炉体内的下保温板、支撑板、和连接支撑下保温板与支撑板的支撑柱；和坩埚，所述坩埚设置在支撑板上，所述坩埚的底部外侧开设有环形凹槽，所述坩埚的内腔底部设置有弧形槽，坩埚的内腔底部截面呈波浪线状，所述坩埚的外侧壁上均布设有环形安装槽，所述坩埚的外侧壁还设有保温条，根据不同的热场结构分布，在相应的环形安装槽内匹配插设保温条。
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