[实用新型]多晶硅锭铸锭炉

摘要

本实用新型属于多晶硅生产技术领域。一种多晶硅锭铸锭炉，包括炉体，所述炉体包括匹配对应扣合的上炉体和下炉体，且所述上炉体和下炉体之间设置有上下开合动作的开合动力机构；支撑台，所述支撑台包括平行间隔设置在下炉体内的下保温板和支撑板、连接支撑下保温板、支撑板和下炉体的支撑柱，所述支撑台上设置有坩埚；和加热腔室。本申请能够形成在线生产过程中的一个动态可变的热场分布，从而能够根据工艺需求进行热场分布的调整，从而大大提高了产品的晶粒大小和晶向的垂直度；本申请还能够有效的控制热量散失速度，并能够进行实时调整，从而为多晶硅的质量提供更好的结晶环境，从而满足相关行业的进一步的发展，具有很大的市场价值。

主权项

1.一种多晶硅锭铸锭炉，其特征在于，包括：炉体，所述炉体包括匹配对应扣合的上炉体和下炉体，且所述上炉体和下炉体之间设置有上下开合动作的开合动力机构；支撑台，所述支撑台包括平行间隔设置在下炉体内的下保温板和支撑板、连接支撑下保温板、支撑板和下炉体的支撑柱，所述支撑台上设置有坩埚；加热腔室，所述加热腔室包括上保温板和呈环状的侧保温壁，所述上保温板和侧保温壁内侧设有加热器，所述侧保温壁与上炉体之间设置有升降机构，所述侧保温壁上下端均设置有向内延伸的对接沿，所述侧保温壁的对接沿与下保温板匹配叠合连接；以及控制系统和抽排风系统；所述下保温板与侧保温壁之间设置有长晶热量缓流散组件，所述长晶热量缓流散组件包括匹配套设在侧保温壁下端对接沿内的外隔套、和匹配枢接设置在下保温板上的内隔套，所述内隔套与外隔套匹配滑动贴合套接，所述外隔套上端设置有向外延伸的搭接沿，当所述侧保温壁与下保温板处于分离状态时，所述外隔套通过搭接沿匹配挂设在侧保温壁上，当侧保温壁与下保温板处于闭合状态时，所述外隔套支撑设置在下保温板上。