[实用新型]一种薄膜透光均匀性检测装置

摘要

本实用新型提供了一种薄膜透光均匀性检测装置，包括激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元；工作台设有样品台和圆孔，样品台可移动的覆盖在圆孔上，圆孔半径大于激光光源在样品平台处的光斑半径；激光光源与光电探测器分设在工作台两侧，使其中心连线垂直于工作台并从圆孔穿过；光电探测器依次与信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元及激光光源电连接，控制单元与数字锁相放大器及工作台电连接，用于接收数字锁相放大器的检测信号及控制带有样品的样品台移动，进行下一区域样本检测。本实用新型提高在弱光源和强光噪声环境下的检测准确度。

主权项

1.一种薄膜透光均匀性检测装置，其特征在于包括：激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元；所述工作台上设有样品台和圆孔，所述样品台可移动的覆盖在所述圆孔上，所述圆孔的半径大于所述激光光源在所述样品平台处的光斑半径；所述激光光源与所述光电探测器分设在所述工作台两侧，使其中心连线垂直于所述工作台并从所述圆孔穿过；所述光电探测器依次与所述信号调理单元、所述模数转换单元、所述数字锁相放大器、所述数模转换单元及所述激光光源电连接，所述控制单元与所述数字锁相放大器及所述工作台电连接，用于接收所述数字锁相放大器的检测信号及控制带有样品的所述样品台移动，进行下一区域检测。