[实用新型]衰减装置及光刻机有效
| 申请号： | 201721440266.3 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN207408740U | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 陈梦来 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种衰减装置，包括：能量衰减盘和旋转驱动单元，所述旋转驱动单元驱动能量衰减盘旋转以改变能量衰减盘上的衰减档位，所述旋转驱动单元包括棘轮、传动棘齿、棘齿驱动单元和防退棘齿，所述棘轮与所述能量衰减盘同轴固定连接，所述棘齿驱动单元驱动所述传动棘齿转动，所述传动棘齿和防退棘齿均可摆动地抵接在棘轮的外侧。本实用新型实施例提供了一种衰减装置及光刻机,不同于以往衰减装置利用旋转电机进行衰减挡位切换的设计思路，本实施例中衰减装置的能量衰减盘在棘轮、传动棘齿、棘齿驱动单元和防退棘齿的驱动下进行旋转，而棘轮棘齿的机械结构保证了衰减叶片的静态稳定性，同时在不需要对衰减挡位进行切换时可以断电自锁。 | ||
| 搜索关键词： | 棘齿 衰减装置 衰减 传动棘齿 能量衰减 棘轮 旋转驱动单元 驱动单元 防退 本实用新型 光刻机 同轴固定连接 静态稳定性 驱动 挡位切换 机械结构 棘轮棘齿 驱动能量 旋转电机 可摆动 挡位 档位 抵接 自锁 断电 叶片 转动 盘旋 保证 | ||
【主权项】：
1.一种衰减装置，其特征在于，包括：能量衰减盘和旋转驱动单元，所述旋转驱动单元驱动能量衰减盘旋转以改变能量衰减盘上的衰减档位，所述旋转驱动单元包括棘轮、传动棘齿、棘齿驱动单元和防退棘齿，所述棘轮与所述能量衰减盘同轴固定连接，所述棘齿驱动单元驱动所述传动棘齿转动，所述传动棘齿和防退棘齿均可摆动地抵接在棘轮的外侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721440266.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：油墨固化用紫外LED光源系统
- 下一篇：自调节光罩及光罩弯曲校正系统
