[实用新型]一种生长碳化硅单晶的精密控制温度装置

摘要

本实用新型公开了一种生长碳化硅单晶的精密控制温度装置，包括腔体、石墨坩埚、石墨盖、石墨软毡保温层、感应线圈，石墨盖内粘合有籽晶片，石墨软毡保温层包覆石墨坩埚，感应线圈围绕石墨软毡保温层设置，石墨坩埚固定放置在底部支柱上，所述石墨软毡保温层与感应线圈之间套设有一石英筒，所述腔体中心上方架设有红外线高温计，石墨盖顶部的石墨软毡保温层中心对应红外线高温计开设有测量孔，所述石墨软毡保温层顶部中心两侧对称开设有安装口，安装口分别装载有从腔体上方伸入的热电偶。本实用新型以红外线高温计测量实际生长温度，外加装两只热电偶辅助监测温度，有效避免温度控制异常发生，精密控制生长装置的温度，生长高质量的晶体。

主权项

1.一种生长碳化硅单晶的精密控制温度装置，包括腔体(1)和设于腔体内的石墨坩埚(2)、石墨盖(3)、石墨软毡保温层(4)、感应线圈(5)，所述石墨盖(3)位于石墨坩埚(2)顶部封闭所述石墨坩埚(2)，所述石墨盖(3)内侧中心区域粘合有籽晶片(6)，所述石墨软毡保温层(4)包覆所述石墨坩埚(2)的周围、顶部、底部，所述感应线圈(5)围绕所述石墨软毡保温层(4)设置，其特征在于：所述石墨坩埚(2)固定放置在底部支柱(7)上，所述石墨软毡保温层(4)与感应线圈(5)之间套设有一石英筒(8)，所述腔体(1)中心上方架设有红外线高温计(9)，所述石墨盖(3)顶部的石墨软毡保温层(4)中心对应所述红外线高温计(9)开设有测量孔(10)，所述石墨软毡保温层(4)顶部中心两侧对称开设有安装口(11)，所述安装口(11)分别装载有从腔体(1)上方伸入的热电偶(12)。