[实用新型]一种碳化硅晶体抛光盘

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅晶体抛光盘，包括冷却外圈结构、冷却内圈结构、衬底层和支撑架，所述冷却外圈结构内部设置有冷却内圈结构，且冷却内圈结构下方连通有内圈冷却水进口，所述冷却外圈结构外侧通过支撑块固定有第一环形外圈冷却水道，所述支撑块下方固定在衬底层上，且衬底层上安装有内圈冷却水进口和外圈冷却水进口。该碳化硅晶体抛光盘，采用在抛光大盘底座的冷却水道设计为双层管路，有分别的冷却水进出口，水道形状可以依不同材质的盘面做不同设计，并针对抛光过程后晶片的移除率与平坦度对冷却水做调试，使盘面可以在抛光过程中使盘面保持在平盘状态做抛光，也减少深刮伤，最终达到晶片表面技术要求。

主权项

1.一种碳化硅晶体抛光盘，包括冷却外圈结构(1)、冷却内圈结构(3)、衬底层(7)和支撑架(10)，其特征在于：所述冷却外圈结构(1)内部设置有冷却内圈结构(3)，且冷却内圈结构(3)下方连通有内圈冷却水进口(2)，所述冷却外圈结构(1)外侧通过支撑块(9)固定有第一环形外圈冷却水道(4)，且第一环形外圈冷却水道(4)下方连接有外圈冷却水进口(8)，所述第一环形外圈冷却水道(4)内部设置有第二环形外圈冷却水道(6)，且第二环形外圈冷却水道(6)与第一环形外圈冷却水道(4)通过连接孔(11)相连通在一起，所述第一环形外圈冷却水道(4)和第二环形外圈冷却水道(6)设置连接有直线冷却水道(5)，且连接孔(11)开设在直线冷却水道(5)上，所述支撑块(9)下方固定在衬底层(7)上，且衬底层(7)上安装有内圈冷却水进口(2)和外圈冷却水进口(8)。