[实用新型]用于承载测试钢板的装置及胶带剥离强度测定装置有效

专利信息
申请号: 201721457655.7 申请日: 2017-11-03
公开(公告)号: CN207472746U 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 崔庆珑;魏成龙 申请(专利权)人: 威士达半导体科技(张家港)有限公司
主分类号: G01N19/04 分类号: G01N19/04
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 赵志远
地址: 215000 江苏省苏州市张*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及UV失粘胶带技术领域,尤其是涉及一种用于承载测试钢板的装置及胶带剥离强度测定装置。用于承载测试钢板的装置,包括承载底板,承载底板呈圆形,承载底板设置有多个放置孔,多个放置孔沿承载底板的径向间隔设置,放置孔用于放置测试钢板,其中,测试钢板的上表面与承载底板的上表面平行,测试钢板的下表面用于与UV失粘胶带相贴合,承载底板用于放置在晶圆紫外线照射机的载物台上,以使紫外线照射在UV失粘胶带上。胶带剥离强度测定装置,包括晶圆紫外线照射机和所述的用于承载测试钢板的装置,用于承载测试钢板的装置位于晶圆紫外线照射机的载物台上。本实用新型能够利用晶圆紫外线照射机对胶带进行剥离强度测试。
搜索关键词: 测试钢板 承载底板 紫外线照射机 胶带 晶圆 承载 强度测定装置 放置孔 粘胶带 本实用新型 剥离 上表面 载物 剥离强度测试 紫外线照射 径向间隔 下表面 贴合 平行
【主权项】:
一种用于承载测试钢板的装置,其特征在于:包括承载底板,所述承载底板呈圆形,所述承载底板设置有多个放置孔,多个所述放置孔沿所述承载底板的径向间隔设置,所述放置孔用于放置测试钢板,其中,所述测试钢板的上表面与所述承载底板的上表面平行,所述测试钢板的下表面用于与UV失粘胶带相贴合,所述承载底板用于放置在晶圆紫外线照射机的载物台上,以使紫外线照射在所述UV失粘胶带上。
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