[实用新型]氯硅烷净化回收设备有效
| 申请号： | 201721460572.3 | 申请日： | 2017-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN207391015U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 赵雄;刘见华;万烨;赵宇;常欣;章莉;郭树虎;王磊;严大洲;吕东 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/03;B01D29/11;B01D29/60;B01D29/66;B01D36/00;B01D36/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;金田蕴 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氯硅烷净化回收设备。其中，该设备包括：动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；过滤单元，包括一个或多个并联设置的精密过滤器；以及残液处理单元，设置在过滤单元的下游，用于处理残液。应用本实用新型的技术方案，氯硅烷净化回收设备设置有动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力，从而实现精密过滤器的良好冲洗，能够彻底解决多晶硅生产氯硅烷中固体杂质处理问题，在净化系统和环保方面效果显著。过滤单元为多个并联设置的精密过滤器，可以互为备用过滤器，保证系统的连续稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 净化 回收 设备 | ||
【主权项】：
1.一种氯硅烷净化回收设备，其特征在于，包括：动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；所述过滤单元，包括一个或多个并联设置的精密过滤器；以及残液处理单元，设置在所述过滤单元的下游，用于处理残液。
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