[实用新型]显影机升降缓存机构有效
申请号: | 201721463511.2 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN207337075U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 徐伟;李亚明;陈运;林连琨;王金龙;吴云桂 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人: | 沈根水 |
地址: | 210033 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型是一种显影机升降缓存机构,其结构包括升降缓存机构、丝杆、导轨、滑块、丝杆螺母座、固定架、电机和传送带;其中传送带二侧的地面通过螺栓固定固定架,固定架通过螺栓固定丝杆与导轨,电机与丝杆通过联轴器固定,丝杆螺母座与滑块通过螺栓分别固定于升降缓存机构二侧,本实用新型的优点:可在下游设备发生故障时将显影机内的基板转移到升降缓存机构上来,避免基板无法从显影腔及时排出,显影液长时间停留在基板表面导致过显。 | ||
搜索关键词: | 显影 升降 缓存 机构 | ||
【主权项】:
1.显影机升降缓存机构,其特征是包括升降缓存机构、丝杆、导轨、滑块、丝杆螺母座、固定架、电机和传送带;其中传送带二侧的地面通过螺栓固定固定架,固定架通过螺栓固定丝杆与导轨、电机与丝杆通过联轴器固定,丝杆螺母座与滑块通过螺栓分别固定于升降缓存机构二侧。
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