[实用新型]一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置有效
| 申请号： | 201721471967.3 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN207862479U | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 赵鹏;杨林;周海富;黄建忠;刘恒泽;丁彪;张超 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置，包括安装于导流筒下沿的标记物，标记物与熔硅的液面保持设定的距离。本实用新型的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置解决了现有的单晶炉内液口距测量数据精确度不够的问题。本实用新型的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置利用定位单晶硅籽晶作为参照物预先设置精确的液口距，同时在拉晶过程中也可以结合现有的CCD测量系统综合进行液口距的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 液口 单晶炉 拉晶 精准定位装置 本实用新型 标记物 单晶硅籽晶 导流筒下沿 测量数据 液面保持 预先设置 参照物 口距 内液 熔硅 测量 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置，其特征在于，包括安装于导流筒(5)下沿的标记物，所述标记物与熔硅(4)的液面保持设定的距离，所述导流筒(5)下沿设置有用于固定定位安装工装(1)的安装孔，所述安装孔与所述熔硅(4)的液面呈12°设置，所述定位安装工装(1)的侧面具有与所述安装孔形状相适应的凸柱，所述定位安装工装(1)通过凸柱卡设于所述安装孔，所述标记物设置于定位安装工装(1)内、并通过石墨螺栓进行固定；还包括CCD测量系统，所述CCD测量系统监控拉晶过程中液口距的变化。
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