[实用新型]一种提高硅片加工效率的花篮

摘要

本实用新型公开一种提高硅片加工效率的花篮，包括有花篮主体、装卸结构，花篮主体包括底板、支撑板、一组第一花篮杆、一组第二花篮杆。装卸结构包括一组结构相同的侧板、一组结构相同的盖板。盖板与侧板之间可自由组合成装卸结构，装卸结构可自由安装在花篮主体上。与现有技术相比，本实用新型可对所有的硅片同步装载及卸下，加工效率高，硅片破碎率低。

主权项

1.一种提高硅片加工效率的花篮，包括有花篮主体(100)、装卸结构(200)，所述花篮主体(100)包括底板(101)、两个对称设置的支撑板(102)、一组相互平行的第一花篮杆(104)、一组相互平行的第二花篮杆(103)，所述支撑板(102)底端垂直且固定连接所述底板(101)，各所述支撑板(102)的顶端均开设有竖向的第一槽位(106)，所述第一槽位(106)的两内侧均设有纵向的第一导轨(107)；各所述支撑板(102)还均设有两条横向的第二导轨(105)，两所述第二导轨(105)分别位于所述第一槽位(106)的两侧，两所述第二导轨(105)位于同一直线上；所述第一花篮杆(104)的端部固定连接所述支撑板(102)，所述第二花篮杆(103)设于所述第一花篮杆(104)上方，所述第二花篮杆(103)的两端分别与两所述支撑板(102)上的所述第二导轨(105)滑动连接；所述装卸结构(200)包括两个结构相同的侧板(201)、两个结构相同的盖板(202)，各所述侧板(201)的顶端均开设有竖向的第二槽位(204)；所述第二槽位(204)的两内侧均设有纵向的第三导轨(205)，各所述侧板(201)的下部均设有安装孔(203)；各所述盖板(202)均设有夹持面，所述夹持面设有夹持齿(206)，相邻所述夹持齿(206)之间形成夹持位(207)；其中一所述盖板(202)的两端分别插设于两所述侧板(201)上的所述安装孔(203)内，另一所述盖板(202)的两端部分别设于两所述侧板(201)上的所述第二槽位(204)内、与所述第三导轨(205)滑动连接；两所述盖板(202)的夹持面对向设置。