[实用新型]一种LED晶片角度校正机构有效
申请号: | 201721489508.8 | 申请日: | 2017-11-09 |
公开(公告)号: | CN207489842U | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 梁国康;梁国城;罗宇 | 申请(专利权)人: | 先进光电器材(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L33/48 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 张明 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型属于半导体封装设备技术领域,具体涉及一种LED晶片角度校正机构。通过马达为旋转定位轴提供旋转动力,并在陶瓷真空平台的真空吸附固定实现有效定位的作用下、以及在感应片与感应器相互配合下精确控制马达转动,进而精确控制陶瓷真空平台的转动角度,从而确保精确校正LED晶片角度,为后续精确放置固晶工位提供保障,提高固晶品质,以满足生产要求。 | ||
搜索关键词: | 角度校正机构 陶瓷真空 固晶 转动 半导体封装设备 真空吸附固定 本实用新型 旋转定位轴 控制马达 生产要求 旋转动力 有效定位 感应片 感应器 工位 马达 校正 配合 | ||
【主权项】:
一种LED晶片角度校正机构,其特征在于,包括基座和安装于基座上的校正装置,所述校正装置包括马达、马达固定座、主动轮、从动轮、皮带、轴承组件、旋转定位轴、陶瓷真空平台、旋转气管接头、感应片、感应片固定座、感应器和感应器固定座;所述马达固定座与基座固定连接,所述马达安装在所述马达固定座上,所述马达的输出轴上套设主动轮和感应片固定座,所述感应片固定座位于主动轮和马达之间,所述感应片固定座上设有感应片,所述感应器固定座安装在马达的壳体上,所述感应器安装在所述感应器固定座上且与感应片的位置相对设置,所述皮带套设在主动轮和从动轮上,所述轴承组件固定在基座上,所述旋转定位轴竖直且穿设于轴承组件,所述从动轮套设在旋转定位轴上,所述旋转定位轴上方设有陶瓷真空平台,所述旋转定位轴下方设有用于接入真空气体为陶瓷真空平台提供真空吸力的旋转气管接头。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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