[实用新型]一种显影装置有效
申请号: | 201721499723.6 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN207641399U | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 王石进;孙涛;刘昌范;任雪艳 | 申请(专利权)人: | 固安鼎材科技有限公司 |
主分类号: | B01F13/08 | 分类号: | B01F13/08;B01F3/08;B01F15/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 郑越 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型涉及显示屏元器件技术领域,具体涉及一种显影装置,包括:自动计量添加组件,包括用于分别存储并按预定比例自动输出所需量的显影液母液的第一储存罐(1)和去离子水的第二储存罐(2);混合保温组件,与自动计量添加组件连通,包括用于接收并混合第一储存罐(1)输出的显影液母液和第二储存罐(2)输出的去离子水的混合罐(3)以及对混合罐(3)进行保温的温控机构(4),混合罐(3)为内置有搅拌器(10)的密封罐体;显影组件(5),与混合罐(3)连接,用于对待显影的基板进行显影。本实用新型提供了一种避免搅拌时的气泡溢出,提高显影液母液和去离子水的混合均匀性,保证显影效果,减少人工操作的显影装置。 | ||
搜索关键词: | 储存罐 混合罐 去离子水 显影装置 显影液 母液 本实用新型 添加组件 自动计量 输出 显影 混合均匀性 元器件技术 保温组件 密封罐体 人工操作 温控机构 显影效果 显影组件 搅拌器 基板 内置 显示屏 溢出 保温 连通 存储 保证 | ||
【主权项】:
1.一种显影装置,其特征在于,包括:自动计量添加组件,包括用于分别存储并按预定比例自动输出所需量的显影液母液的第一储存罐(1)和去离子水的第二储存罐(2);混合保温组件,与所述自动计量添加组件连通,包括用于接收并混合所述第一储存罐(1)输出的显影液母液和所述第二储存罐(2)输出的去离子水的混合罐(3)以及对所述混合罐(3)进行保温的温控机构(4),所述混合罐(3)为内置有搅拌器(10)的密封罐体;显影组件(5),与所述混合罐(3)连接,用于对待显影的基板进行显影。
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