[实用新型]一种硅片输送装置有效
| 申请号： | 201721502618.3 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN207511445U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张洪旺;史卫利 | 申请（专利权）人： | 无锡帝科电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214203 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片输送装置，包括第一输送组件，第二输送组件，机架，丝杆，旋转件和导向杆，第一输送组件和第二输送组件为结构相同的输送组件，输送组件包括第一侧板，第二侧板，底板，螺母，滚筒，传输带和导向座，第一、第二侧板相对设置，第一、第二侧板设置在底板和导向座上，滚筒设置在第一、第二侧板之间，传输带绕设在滚筒之间，螺母设置在底板底部，丝杆包括第一螺纹部和第二螺纹部，第一、第二螺纹部的螺纹方向相反，第一输送组件和第二输送组件的螺母分别设置在第一螺纹部和第二螺纹部上，旋转件设置在丝杆一端，所述导向杆设置在机架上，导向座设置在导向杆上。本实用新型能够显著提升了输送效率，提升使用灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 输送组件 侧板 底板 螺母 第二螺纹部 导向杆 导向座 丝杆 硅片输送装置 本实用新型 第一螺纹部 传输带 旋转件 滚筒 使用灵活性 滚筒设置 螺纹方向 输送效率 相对设置 | ||
【主权项】：
1.一种硅片输送装置，其特征在于，包括第一输送组件，第二输送组件，机架，丝杆，旋转件和导向杆，所述第一输送组件和第二输送组件为结构相同的输送组件，输送组件包括第一侧板，第二侧板，底板，螺母，滚筒，传输带和导向座，所述第一、第二侧板相对设置，第一、第二侧板设置在底板和导向座上，所述滚筒设置在第一、第二侧板之间，传输带绕设在滚筒之间，所述螺母设置在底板底部，丝杆包括第一螺纹部和第二螺纹部，第一、第二螺纹部的螺纹方向相反，第一输送组件和第二输送组件的螺母分别设置在第一螺纹部和第二螺纹部上，所述旋转件设置在丝杆一端，所述导向杆设置在机架上，导向座设置在导向杆上。
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