[实用新型]一种半导体晶片喷砂加工除尘装置有效
| 申请号： | 201721515382.7 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN207372995U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 吴兴旺;徐明星;杨勇;史国顺 | 申请（专利权）人： | 山东芯诺电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00;B08B15/04 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 周仕芳;卢登涛 |
| 地址： | 272100 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体晶片喷砂加工除尘装置，包括排风除尘管路和水循环系统，所述排风除尘管路下端设有进风口，排风除尘管路的顶端开口为出风口，进风口连接喷砂机排风系统，排风除尘管路包括由下至上的四级滤网，排风除尘管路底部设有初级沉淀池；水循环系统包括多级沉淀池，多级沉淀池入口端连接所述初级沉淀池，多级沉淀池出口端连接多孔喷淋管，多孔喷淋管设置在所述四级滤网上部。多孔喷淋管呈水雾喷淋，冲洗过滤网吸附的金刚砂尘，形成泥水落入除尘管路下端进行初级沉淀。经初级沉淀后泥水经出水口溢流进行二级沉淀池，进一步沉淀处理，经溢流方式进入三级沉淀，最后进入清水池，由水泵抽取清水进行水雾喷淋，形成用水循环。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 晶片 喷砂 加工 除尘 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体晶片喷砂加工除尘装置，其特征在于，包括排风除尘管路(1)和水循环系统，所述排风除尘管路(1)下端设有进风口(7)，排风除尘管路(1)的顶端开口为出风口(2)，进风口(7)连接喷砂机排风系统，排风除尘管路(1)包括由下至上的四级滤网，排风除尘管路(1)底部设有初级沉淀池(9)；所述水循环系统包括多级沉淀池，多级沉淀池入口端连接所述初级沉淀池(9)，多级沉淀池出口端连接多孔喷淋管(18)，多孔喷淋管(18)设置在所述四级滤网上部。
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