[实用新型]多元合金薄膜的制备装置有效
| 申请号： | 201721521543.3 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN207435536U | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 吴晓斌;罗艳;王宇;王魁波;谢婉露;张罗莎;张立佳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多元合金薄膜的制备装置，包括连接有真空泵组的腔室、多个用于盛放高纯金属液的金属液容器、用于放置沉积基片的可转动基座、多个产生双脉冲激光的激光器组、基座控制器和数据采集控制单元，数据采集控制单元采集可转动基座的温度和位移信息，并控制脉冲加压设备的加压频率和多个激光器组的双脉冲激光的射出频率和能量，从而控制所述双脉冲激光轰击对应的脉冲液滴的频率和能量，实现等离子体薄膜沉积的自动控制。本实用新型的制备装置，可以快速地制备高低熔点相差较大的多元合金薄膜、多元合金的气体化合物薄膜、化学成分梯度变化的薄膜和厚度方向合金比例任意变化的多元合金薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 多元合金 薄膜 双脉冲激光 制备装置 数据采集控制单元 本实用新型 激光器组 可转动 沉积 等离子体薄膜 基座控制器 金属液容器 气体化合物 成分梯度 高纯金属 高低熔点 加压设备 控制脉冲 位移信息 真空泵组 脉冲 腔室 射出 盛放 液滴 轰击 制备 加压 合金 采集 | ||
【主权项】：
1.多元合金薄膜的制备装置，其特征在于，包括连接有真空泵组(7)的腔室(1)、多个用于盛放高纯金属液的金属液容器(2)、用于放置沉积基片的可转动基座(3)、多个产生双脉冲激光的激光器组(4)、基座控制器(5)和数据采集控制单元(6)；所述可转动基座(3)位于所述腔室(1)内，所述多个金属液容器(2)与所述腔室(1)连通，每个金属液容器(2)均设有脉冲加压设备，将金属液以脉冲液滴的形式压入所述腔室(1)；所述多个激光器组(4)与所述多个金属液容器(2)一一对应，使得射出的多束双脉冲激光一一对应轰击多种脉冲液滴并产生相应的等离子体并溅射沉积在所述沉积基片上形成多元合金薄膜；所述数据采集控制单元(6)采集所述可转动基座(3)的温度和位移信息，并控制所述脉冲加压设备的加压频率和所述多个激光器组(4)的双脉冲激光的射出频率和能量，从而控制所述双脉冲激光轰击对应的脉冲液滴的频率和能量，实现等离子体薄膜沉积的自动控制；所述基座控制器(5)通过所述数据采集控制单元(6)收集的基座的温度和位移信息，控制基座的温度、自转和移动。
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