[实用新型]一种单晶炉连续加料装置有效
申请号: | 201721529534.9 | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN207608655U | 公开(公告)日: | 2018-07-13 |
发明(设计)人: | 王礼彬 | 申请(专利权)人: | 四川高铭科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/12;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 62500*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种单晶炉连续加料装置,包括原料仓、输料管、内石英坩埚以及外石英坩埚,原料仓通过输料管与内石英坩埚连接,内石英坩埚设于外石英坩埚内,内石英坩埚内设有浮力档件来完成连续加入原料过程。本实用新型结构简单,实用性强,在不用打开炉盖的情况下加入适量的原料,提高生产率,降低生产成本,具有较强的实用性。 | ||
搜索关键词: | 石英坩埚 连续加料装置 单晶炉 输料管 原料仓 本实用新型 原料过程 档件 浮力 炉盖 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉连续加料装置,其特征在于,包括原料仓(10)、输料管(20)、内石英坩埚(30)以及外石英坩埚(40),原料仓(10)通过输料管(20)与内石英坩埚(30)连接,内石英坩埚(30)设于外石英坩埚(40)内,所述原料仓(10)上部设有仓盖(15),原料仓(10)内部设有原料储藏腔(14),原料储藏腔(14)下端设有抽真空通道(13)与原料仓出料通道(11),原料仓出料通道(11)下端设有真空阀(12),真空阀(12)设于原料仓(10)外侧;所述输料管(20)包括出料口(21)与连接件(22),输料管(20)上端设有连接件(22),连接件(22)与原料仓出料通道(11)下端连接,输料管(20)下端设有出料口(21);所述内石英坩埚(30)包括熔液流通孔(31)以及输料管孔(32),内石英坩埚(30)中部设有多个贯穿的熔液流通孔(31),内石英坩埚(30)法兰一侧设有输料管孔(32),输料管孔(32)内设有出料口(21);所述外石英坩埚(40)内一侧设有浮力档件(41),浮力档件(41)设于出料口(21)下端,外石英坩埚(40)内底部设有石英坩埚底座(42),石英坩埚底座(42)上置有内石英坩埚(30)。
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