[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化装置有效
| 申请号： | 201721541196.0 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN207473302U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 丰田裕二;后闲宽彦 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;刘林华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型的目的在于提供一种抗蚀剂层的薄膜化装置，前述抗蚀剂层的薄膜化装置能够解决附着于除液辊对的薄膜化处理液干燥、液体中的成分析出・粘着、抗蚀剂层上的薄膜化处理液的覆盖量不均匀的问题。前述抗蚀剂层的薄膜化装置构成为具备薄膜化处理单元，前述薄膜化处理单元对被形成于基板上的抗蚀剂层供给薄膜化处理液，其特征在于，薄膜化处理单元具有浸渍槽、浸渍槽的出口辊对、薄膜化处理单元的出口辊对、除液辊对，前述浸渍槽装有薄膜化处理液，前述除液辊对被设置于浸渍槽的出口辊对和薄膜化处理单元的出口辊对之间，进而，薄膜化处理单元具有薄膜化处理液供给机构，前述薄膜化处理液供给机构对该除液辊对供给薄膜化处理液。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜化处理 抗蚀剂层 薄膜化装置 出口辊 浸渍槽 除液 供给机构 本实用新型 析出 不均匀 附着 基板 覆盖 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂层的薄膜化装置，前述抗蚀剂层的薄膜化装置构成为具备薄膜化处理单元，前述薄膜化处理单元对被形成于基板上的抗蚀剂层供给薄膜化处理液，其特征在于，薄膜化处理单元具有浸渍槽、浸渍槽的出口辊对、薄膜化处理单元的出口辊对、除液辊对，前述浸渍槽装有薄膜化处理液，前述除液辊对被设置于浸渍槽的出口辊对和薄膜化处理单元的出口辊对之间，进而，薄膜化处理单元具有薄膜化处理液供给机构，前述薄膜化处理液供给机构对该除液辊对供给薄膜化处理液。
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