[实用新型]一种基于石墨烯的压阻式真空计有效
| 申请号： | 201721542148.3 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN207487885U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 任天令;庞于;靳馥华;杨轶 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及压力传感器领域，公开了一种基于石墨烯的压阻式真空计，若干个石墨烯传感元件，包括多个堆叠的石墨烯片；载体，包括柔性载体，柔性载体包覆于石墨烯传感元件的外表面，并与石墨烯传感元件紧密贴合；电极，电极与石墨烯传感元件的外表面连接，构成监测电流的回路。本实用新型提供的一种基于石墨烯的压阻式真空计，利用石墨烯传感元件的方式进行真空度的测量，其具有灵敏度高、成本低、响应速度快、测量误差小等优点，具有广阔的市场应用价值和前景。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 传感元件 压阻式 真空计 本实用新型 柔性载体 电极 测量 压力传感器 监测电流 紧密贴合 石墨烯片 市场应用 灵敏度 包覆 堆叠 响应 | ||
【主权项】：
一种基于石墨烯的压阻式真空计，其特征在于，包括：若干个石墨烯传感元件(1)，包括多个堆叠的石墨烯片；载体(2)，包括柔性载体，所述柔性载体包覆于所述石墨烯传感元件(1)的外表面，并与所述石墨烯传感元件(1)紧密贴合；电极(3)，所述电极(3)与所述石墨烯传感元件(1)的外表面连接，构成监测电流的回路。
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