[实用新型]一种光阻供应系统

摘要

本实用新型公开了一种光阻供应系统，属于半导体制造技术领域，应用于微影制程中，包括：第一供应装置，用于装设光阻剂；第二供应装置，用于装设光阻剂；送液泵，所述送液泵的输入端通过第一管道连接所述第一供应装置，以及通过第二管道连接所述第二供应装置，所述送液泵的输出端连通一喷嘴；第一阀门，设置于所述第一管道上；第二阀门，设置于所述第二管道上；所述第二阀门与所述第一阀门反向工作的使所述送液泵与所述第一供应装置或所述第二供应装置连通。上述技术方案的有益效果是：通过设置两个光阻供应装置，交替为微影制程机台供应光阻，避免机台因更换光阻而停机，从而提高机台的工作效率。 1

主权项

1.一种光阻供应系统，应用于微影制程中，其特征在于，包括：

第一供应装置，用于装设光阻剂；

第二供应装置，用于装设光阻剂；

送液泵，所述送液泵的输入端通过第一管道连接所述第一供应装置，以及通过第二管道连接所述第二供应装置，所述送液泵的输出端连通一喷嘴；

第一阀门，设置于所述第一管道上；

第二阀门，设置于所述第二管道上；

所述第二阀门与所述第一阀门反向工作的使所述送液泵与所述第一供应装置或所述第二供应装置连通。

2.如权利要求1所述的光阻供应系统，其特征在于，所述第一供应装置包括：

第一缓存槽，所述第一缓存槽的底部与所述第一管道连接以使所述第一缓存槽与所述第一管道连通；

第三管道，所述第三管道的一端连接所述第一缓存槽的顶部以连通所述第一缓存槽，所述第三管道未连接所述第一缓存槽的一端伸入至第一光阻瓶内；

第一气源，连通所述第一光阻瓶并向所述第一光阻瓶内充气。

3.如权利要求2所述的光阻供应系统，其特征在于，包括第一液位传感器，设置于所述第一缓存槽内接近所述第一缓存槽的底部的侧壁上；

所述第一液位传感器连接一报警装置。

4.如权利要求1所述的光阻供应系统，其特征在于，所述第二供应装置包括：

第二缓存槽，所述第二缓存槽的底部与所述第二管道连接以使所述第二缓存槽与所述第二管道连通；

第四管道，所述第四管道的一端连接所述第二缓存槽的顶部以连通所述第二缓存槽，所述第四管道未连接所述第二缓存槽的一端伸入至第二光阻瓶内；

第二气源，连通所述第二光阻瓶并向所述第二光阻瓶内充气。

5.如权利要求4所述的光阻供应系统，其特征在于，包括第二液位传感器，设置于所述第二缓存槽内接近所述第二缓存槽的底部的侧壁上；

所述第二液位传感器连接一报警装置。

6.如权利要求1所述的光阻供应系统，其特征在于，包括过滤装置，连接于所述送液泵和所述喷嘴之间；

所述过滤装置通过第五管道连通所述送液泵；

所述过滤装置通过第六管道连通所述喷嘴。

7.如权利要求6所述的光阻供应系统，其特征在于，包括气泡检测装置，所述气泡检测装置设置于所述第六管道上。

8.如权利要求1所述的光阻供应系统，其特征在于，所述第一阀门和/或所述第二阀门为电磁阀。