[实用新型]一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机有效
| 申请号： | 201721572328.6 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN207567337U | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 | 申请（专利权）人： | 上海哈呐机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 郭俊 |
| 地址： | 201500 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机，包括设有腔体的门、设在门内的蒸散装置、设有发射腔的壳体、设在发射腔内的若干电极发射装置，其特征在于：还包括设在门顶部的输入电极、采用输入电极悬设在门内的门电极发射棒；所述的蒸散装置位于门电极发射棒与电极发射装置之间。本实用新型与现有技术相比，在门内增加了门电极发射棒，能使工艺更稳定、可靠；在同等工艺条件下等离子体电压能更高，镀膜层更厚、更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜机 发射 门电极 门内 电极发射装置 本实用新型 输入电极 发射腔 车灯 多轴 等离子体电压 工艺条件 镀膜层 门顶部 壳体 腔体 | ||
【主权项】：
1.一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机，包括设有腔体的门(1)、设在门内的蒸散装置(2)、设有发射腔的壳体(3)、设在发射腔内的若干电极发射装置(4)，其特征在于：还包括设在门(1)顶部的输入电极(7)、采用输入电极(7)悬设在门(1)内的门电极发射棒(5)；所述的蒸散装置(2)位于门电极发射棒(5)与电极发射装置(4)之间。
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