[实用新型]一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201721575944.7 申请日: 2017-11-22
公开(公告)号: CN207567336U 公开(公告)日: 2018-07-03
发明(设计)人: 李龙哲;沈聚丰;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 申请(专利权)人: 上海哈呐机电设备有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 代理人: 郭俊
地址: 201500 上海市金*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体地说是一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,包括第一蒸散铜棒与第二蒸散铜棒,还增设一根辅助铜棒,第一蒸散铜棒的顶端与第一输入电极连接,辅助铜棒的顶端与第二输入电极连接,而辅助铜棒的底端与第二蒸散铜棒的底端之间形成导电连接。本实用新型与现有技术相比,改造方便,改造成本低廉,结构简单;通过增设的一根辅助铜棒,使进入的电压更稳定,不会产生压差现象,保证了各加热丝的加热效果。
搜索关键词: 铜棒 本实用新型 镀膜设备 输入电极 底端 增设 真空镀膜机 导电连接 加热效果 加热丝 压差 改造 保证
【主权项】:
1.一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,包括门、腔体(5)、蒸散设备;所述的蒸散设备包括第一蒸散铜棒(1‑11)、第二蒸散铜棒(1‑12)、夹紧导电块(1‑2)、支撑螺栓(1‑3)、蒸散轴套(1‑4)、第一输入电极(6‑1)、第二输入电极(6‑2);所述的第一蒸散铜棒(1‑11)、第二蒸散铜棒(1‑12)上沿各自轴向分别对应夹设有若干对夹紧导电块(1‑2);每对夹紧导电块中的两个夹紧导电块(1‑2)上分别采用支撑螺栓(1‑3)连接内设压缩弹簧的铜制的蒸散轴套(1‑4);第一蒸散铜棒(1‑11)与第二蒸散铜棒(1‑12)相对应的两个蒸散轴套(1‑4)之间采用加热丝(1‑5)连接,其特征在于:还包括辅助铜棒(2);所述的第一蒸散铜棒(1‑11)的上端采用2个第一导电连接块(2‑1)夹合固定,所述的第二蒸散铜棒(1‑12)的上端采用2个第一电木(3‑1)夹合固定,所述的辅助铜棒(2)的上端采用2个第二导电连接块(2‑2)的一端夹合固定;远离第一蒸散铜棒(1‑11)端的第一导电连接块(2‑1)的一端还与第三导电连接块(6‑12)夹合固定第一输入电极(6‑1);所述的2个第二导电连接块(2‑2)的另一端还夹合固定第二输入电极(6‑2);所述的第一蒸散铜棒(1‑11)的下端与第二蒸散铜棒(1‑12)的下端之间采用第二电木(3‑2)连接;位于第二电木(3‑2)上方处的第二蒸散铜棒(1‑12)与辅助铜棒(2)的底端之间采用一对接触导电块(4)夹合固定连接。
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