[实用新型]一种微流体电容器有效
| 申请号： | 201721582651.1 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN207977235U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 唐星;娄达 | 申请（专利权）人： | 昌微系统科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01G7/00 | 分类号： | H01G7/00;H01G7/04 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;沈汶波 |
| 地址： | 200025 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种微流体电容器，包括衬底及与所述衬底固定连接的盖板。其中，所述衬底朝向所述盖板的面上设置有一第一沟道，所述第一沟道中覆盖有一第一导电层，所述盖板朝向所述衬底的面上，对应所述第一沟道的位置，设置有一第二沟道，所述第二沟道中覆盖一第二导电层，所述第一沟道与所述第二沟道形成一微流体通道，所述微流体通道与外部流路相连接，所述外部流路中的微流体流入所述微流体通道，形成一以微流体为介质的微流体电容器。本实用新型所提供的电容器利用一流过微流体通道的微流体作为介质形成一电容值可变的可变电容器。 | ||
| 搜索关键词： | 沟道 微流体 电容器 微流体通道 衬底 盖板 本实用新型 流路 第二导电层 第一导电层 可变电容器 可变的 电容 外部 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种微流体电容器，包括衬底及与所述衬底固定连接的盖板，其特征在于，所述衬底朝向所述盖板的面上设置有一第一沟道，所述第一沟道中覆盖有一第一导电层，所述盖板朝向所述衬底的面上，对应所述第一沟道的位置，设置有一第二沟道，所述第二沟道中覆盖一第二导电层，所述第一沟道与所述第二沟道形成一微流体通道，所述微流体通道与外部流路相连接，所述外部流路中的微流体流入所述微流体通道，形成一以微流体为介质的微流体电容器。
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