[实用新型]一种集成电路无氧真空储存箱设备

摘要

本实用新型公开了一种集成电路无氧真空储存箱设备，包括外壳，所述外壳内部设有第一工作室与第二工作室，所述第二工作室设于第一工作室一侧，所述第一工作室内部设有多个存储内胆，多个所述存储内胆一侧均设有密封门以及另一侧均设有第一连接管与第二连接管，所述第二连接管设于第一连接管底部，所述第一连接管与第二连接管底部均设有密闭电磁阀，多个所述存储内胆外侧均设有肋片以及底部设有搁板。本实用新型通过设有数字式电阻真空计，由于电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，所以本实用新型还设有PLC控制器对此非线性进行误差修正，从而提高了本实用新型中数字式电阻真空计的测量精度，使得本实用新型的实际使用效果更好。

主权项

1.一种集成电路无氧真空储存箱设备，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）内部设有第一工作室（2）与第二工作室（3），所述第二工作室（3）设于第一工作室（2）一侧，所述第一工作室（2）内部设有多个存储内胆（4），多个所述存储内胆（4）一侧均设有密封门（5）以及另一侧均设有第一连接管（6）与第二连接管（7），所述第二连接管（7）设于第一连接管（6）底部，所述第一连接管（6）与第二连接管（7）底部均设有密闭电磁阀（8），多个所述存储内胆（4）外侧均设有肋片（9）以及底部设有搁板（10），所述第一工作室（2）内侧设有绝对压力变送器（23），所述第二工作室（3）内部设有真空泵（11），所述真空泵（11）一侧设有数字式电阻真空计（12），所述数字式电阻真空计（12）一侧设有第一氧气含量分析仪（13），所述第一氧气含量分析仪（13）一侧设有第二氧气含量分析仪（14），所述第二氧气含量分析仪（14）一侧设有第三氧气含量分析仪（15），所述第三氧气含量分析仪（15）一侧设有氮气接入管（16），所述氮气接入管（16）上设有氮气接入阀（17），所述外壳（1）侧面设有控制柜（18），所述控制柜（18）内部设有触摸屏（19），所述触摸屏（19）底部设有PLC控制器（20），所述外壳（1）底部设有水平支撑架（21），所述水平支撑架（21）底部设有移动脚轮（22）。