[实用新型]一种磷化铟单晶生长炉有效
| 申请号： | 201721587711.9 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN207525375U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 肖祥江;囤国超;吕春富;任洋;叶晓达;董汝昆;杨嗣文;梁鹏 | 申请（专利权）人： | 云南鑫耀半导体材料有限公司;云南中科鑫圆晶体材料有限公司;昆明云锗高新技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B11/00 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 和琳 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市高新*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 一种磷化铟单晶生长炉，涉及新材料制备技术领域，尤其是一种磷化铟单晶生长炉，该生长炉包括冷却循环系统、加热保温系统和支撑系统；所述冷却循环系统包括腔体、氮气盖和冷却循环水管，所述的腔体顶端和底端均设置有氮气盖，腔体外侧缠绕有冷却循环水管；所述的加热保温系统包括外壳、保温材料、电阻丝和炉膛，外壳包裹在炉膛外侧，保温材料填充在外壳与炉膛之间，电阻丝缠绕在炉膛外侧；加热保温系统下端设置有支撑系统，加热保温系统通过支撑系统支撑在腔体底端的氮气盖上。本实用新型的一种磷化铟单晶生长针对磷化铟单晶生长特点，结构设计合理，能灵活有效地控制磷化铟生长温度和炉内压强，从而保证磷化铟单晶质量。 | ||
| 搜索关键词： | 磷化铟单晶 炉膛 加热保温系统 生长炉 氮气 支撑系统 腔体 冷却循环水管 冷却循环系统 保温材料 电阻丝 生长 缠绕 制备技术领域 本实用新型 有效地控制 炉内压强 腔体顶端 外壳包裹 磷化铟 底端 下端 填充 灵活 支撑 保证 | ||
【主权项】：
1.一种磷化铟单晶生长炉，其特征在于，该生长炉包括冷却循环系统、加热保温系统和支撑系统；所述冷却循环系统包括腔体（1）、氮气盖（2）和冷却循环水管（3），所述的腔体（1）为圆柱形中空结构，内部形成一个中空的腔室，腔体（1）顶端和底端均设置有氮气盖（2），腔体（1）外侧缠绕有冷却循环水管（3）；所述的加热保温系统和支撑系统均设置在所述的腔室内部，加热保温系统包括外壳（4）、保温材料（6）、电阻丝（7）和炉膛（5），外壳（4）包裹在炉膛（5）外侧，保温材料（6）填充在外壳（4）与炉膛（5）之间，电阻丝（7）缠绕在炉膛（5）外侧；加热保温系统下端设置有支撑系统。
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